光刻机与纳米芯片的起源、发展，早期纳米芯片光刻机探索之旅

摘要：光刻机和纳米芯片是现代电子工业的核心技术之一。光刻机最早应用于制造集成电路，随着技术的不断进步，逐渐发展出能够制造更精细纳米芯片的光刻机。纳米芯片的发展离不开光刻机的技术革新，随着纳米技术的不断进步，光刻机的精...

阅读全文 双夏柳 1652 次浏览 2025-03-17 组织机构